зачистка (в полупроводниковых приборах)

зачистка (в полупроводниковых приборах)
Процесс удаления материала с поверхности подложки; обычно подразумевается, что удаление выполняется не с целью создания какой-либо конфигурации, например, удаление всего резиста после литографии и травления.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]